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利用壓電材料制作微電機的方法

點擊次數:   更新時間:22/02/21 16:53:02   【關閉分    享:
  壓電材料是制作微電機的理想材料。這是因為壓電材料僅加電場就能自己產生變形。壓電性薄膜可以通過許多途徑獲得,方便地制成微小主動結構體。利用壓電材料制作有三種方法:
  1、利用壓電材料本身的變形,在很小行程下(微米以下)工作;
  2、應用杠桿原理或與彈性體結合成復合結構(如:雙壓電晶片、蘭杰文振子),擴大壓電材料本身的變形(幾百微米以下);
  3、將壓電陶瓷產生的變形設法無限延長。這主要有三種類型,利用共振生成行波或駐波的超聲波電機,組合成箱位結構的蠕動式電機,利用慣性停/滑原理的慣性式電機。
  微電機中,壓電式和電磁式輸出功率較大,產業化前景較好。
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